�PNG


IHDR�!ܵ	pHYs��
�+baSEɒ޵!IDATx�혱JA���$�EH"B��"A� |
���
,""�6X	""b#""b#A����/L�8v��ݻs9烟�r������ž]��CM��WL@9h��Ѝd_13=����}�/v�>��Cwt�
ZS�1]B�1�(@-�u����� 
hBq�
��
͞C��o=���IF���`_|��i�O���g��9�ˋ�'0��(��1*~���}ՠkͣ�K��}��<6Bή���`_}�쾁�٭��P���
g�*~�ˀ<�ہ�̏��8���=�����ƾ�g۱��Ҥ�.)
t����_�b_�lӺ7d���*/A���$i̺`�������X���q1p^I������I�v]A�	�:��uM�q�$[1���������P1��ͮ"�<<�&��������n:SUM�0t��b����&�أu��؍4mv�f��	b��ЎH�_�i-�g�n�i�˶��/I�ʁJ��z%+Ч�^���n)�'�8��G��y��Pd�b�a�a�_�	��&<) %tEXtMathML<math xmlns="http://www.w3.org/1998/Math/MathML"><mstyle mathsize="12px"><msubsup><mi>SO</mi><mn>3</mn><mrow><mn>2</mn><mo>-</mo></mrow></msubsup><mo>&#xA0;</mo><mo>&lt;</mo><mo>&#xA0;</mo><msub><mi mathvariant="normal">S</mi><mn>2</mn></msub><msubsup><mi mathvariant="normal">O</mi><mn>4</mn><mrow><mn>2</mn><mo>-</mo></mrow></msubsup><mo>&#xA0;</mo><mo>&lt;</mo><mo>&#xA0;</mo><msub><mi mathvariant="normal">S</mi><mn>2</mn></msub><msubsup><mi mathvariant="normal">O</mi><mn>6</mn><mrow><mn>2</mn><mo>-</mo></mrow></msubsup></mstyle></math><�W�IEND�B`�